鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、シリコンウェハー、有機材料、その他新素材など、様々な材料および製品を、高い信頼性で成分分析します。

レーザーアブレーションICPMS装置
成分が不明な試料の含有成分を同定します。エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX)、誘導結合プラズマ発光分光分析装置(ICP-OES)、誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS)などを用います。
湿式化学分析法(重量法、滴定法、吸光光度法)、原子吸光分析法、ICP法などを用います。クーリーンルームに設置のICP質量分析法、電気加熱原子吸光法、イオンクロマトグラフなどを用い、pptレベルの不純物分析や、シリコンウェハーなど表面不純物分析が可能です。
| 名称 | 略称 | 分析事例 |
|---|---|---|
| スパーク発光分光分析装置 | OES | 低合金鋼の分析 |
| 蛍光X線分析装置 | WDX、EDX | 鋼、ステンレス鋼、銑鉄、鉄鉱石、セラミックス、各種原料、スラグ類等の分析 |
| 吸光光度計 | ||
| 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 | ICP-OES | |
| フレーム原子吸光分析装置 | FAAS | 各種金属、無機材料、溶液などの分析 |
| 電気加熱原子吸光分析装置 | ETAAS | 高純度金属、電子材料などの極微量分析 |
| 誘導結合プラズマ質量分析装置 | ICP-MS | Si中のU、Th、高純度酸、電子材料中の不純物、シリコンウェハー表面不純物の分析 |
| レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析装置 | LA-ICP-MS | あらゆる種類の固体試料(導電、非導電)について直接・高感度・迅速分析 |
| 金属中炭素、硫黄分析装置 | 鉄鋼、合金鋼中のC、S分析 | |
| 金属中酸素、窒素分析装置 | 鉄鋼、合金鋼、非鉄金属中のO、N、Hの定量分析 | |
| 金属中水素分析装置 | ||
| イオンクロマト分析装置 | IC | めっき液等溶液中の無機イオン分析 |
| 粒度分布測定装置 | 鋼中介在物、粉体の粒度解析 | |
| 電解抽出装置 | 鋼中析出物の抽出分離 |