形態観察

表面形態・構造観察のための物理分析

評価目的や観たい内容によって解析手法を適切に選択することで必要なスケール(ミクロ/マクロ、ナノスケール)での表面形態(粗さの定量、組成・化学状態・結晶状態)や構造を明瞭に観察することができます。

また明瞭かつ真の材料断面観察に必要な低温(クライオ)又は、大気非暴露環境下での試料調整・加工も対応いたします。

走査電子顕微鏡

対応する解析手法 特徴 実例
  • 走査電子顕微鏡(SEM)
表面の3次元形状計測が可能です。
  • 表面形状・断面構造の観察が可能です。
  • ULV-SEMを使って最小20Vの加速電圧で観察することにより、数ナノメーターの極表面観察や、物質コントラストによる化学状態の分布観察・無蒸着観察が可能となります。
  • 観察位置のエネルギー分散型X線分析(EDX)による元素分析が可能です。
  • 観察位置の後方散乱電子回折像(EBSP)による結晶構造解析が可能です。
  • 3D-SEMによる3次元形状計測が可能です。

レーザー顕微鏡・3次元粗さ計、SPM

対応する解析手法 特徴 実例
表面の3次元形状計測が可能です。
  • レーザー顕微鏡によるクリープ劣化した鋼材のミクロボイドの評価
  • レーザー顕微鏡による金(Au)バンプの形状評価
  • レーザー顕微鏡による溶接部の形状測定
  • 原子間力顕微鏡(AFM)によるDLC皮膜表面の形状測定・ナノインデンテーション硬さ測定
  • 走査プローブ顕微鏡(SPM)

断面・微細構造観察のための物理分析

ナノレベルから原子スケールでの材料断面などの微細構造解析について、適切な透過電子顕微鏡(TEM)に、高角度暗視野(STEM-HAADF)法、明視野(BF)法、環状明視野(ABF)法、高分解能透過電子顕微鏡(HR-TEM)法などの観察や、エネルギー分散型X線分析(EDX)、電子エネルギー損失分光分析(EELS)を駆使して、総合的に評価して対応いたします。

集束イオンビーム(FIB)、電解研磨などによる観察用試料調整、低温(クライオ)や非暴露条件でのFIB加工も可能です。

低温での観察・ローレンツ顕微鏡、3Dトモグラフィが可能です

透過電子顕微鏡

対応する解析手法 特徴 実例
  • TEM:透過電子顕微鏡
  • ナノレベルの微細構造観察が可能です。
  • 観察位置のエネルギー分散型X線分析(EDX)による元素分析が可能です。
  • 観察位置の電子エネルギー損失分光法(EELS)による元素分析・化学状態分析が可能です。
  • 観察位置の電子回折による結晶構造解析が可能です。
  • Cs補正STEMによる原子スケールの微細構造観察や、エネルギー分散型X線分析(EDX)、電子エネルギー損失分光法(EELS)分析が可能です。

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