解析事例：鋼板上のSi酸化物/金属Si深さ方向分析

AESによる表面酸化物層の深さ方向分析

装置、分析法の概要

• AESを用いると､　数nm程度の最表面の元素の分析が可能です｡Arイオンスパッタと組み合わせて、深さ方向分析が可能です。

データの説明

• 希硫酸中で腐食させたSi添加鋼の表面酸化物層のAESによる深さ方向分析により、Si酸化物が表面に生成していることがわかります。SiLMM AESスペクトルの化学シフトを利用して、酸化物Siと金属Siを分離しました。

(a)受け入れまま	(b)腐食試験後
腐食前後でのSi添加鋼における表面酸化物層のAESによる深さ方向分析