解析事例:鋼材のボロン粒界偏析のマッピング分析

SIMSを用いた分析例

SIMSによる粒界に偏析したボロンの観察

装置、分析法の概要

  • SIMSを用いると、材料中の微量元素の分析が可能です。

データの説明

  • 熱処理によって粒界に偏析した10ppmの鋼中微量ボロンを、イオン像を用いて、観察しました。この方法は、世界に先駆けて観察したものです。
    S.Hashimoto et al., Mat. Sci. Eng., 90, 119 (1987).
鋼中結晶粒界に偏析したボロンの SIMS装置:CAMECA, IMS-3f
鋼中結晶粒界に偏析したボロンの
SIMSによるイオン像
B組成:10 ppm
SIMS装置:CAMECA, IMS-3f