解析事例：非晶質WO₃薄膜の電子状態解析

XPSによるアモルファスWO₃薄膜の電子状態の解析

装置、分析法の概要

• XPSを用いると､数nm程度の最表面の元素の化学結合状態の分析が可能です｡Arイオンスパッタと組み合わせて､深さ方向分析が可能です｡

データの説明

• アモルファスWO₃薄膜に､Liを電気化学的に注入すると､6価のWの一部が5価に変化し､発色します｡この電子状態変化がXPSスペクトルに現れています｡

アモルファスWO3薄膜のW4f XPSスペクトル (a)透明なもの：成膜まま (b)青色発色したもの	XPS装置:SSI, SSX100