XPSを用いた非晶質WO3薄膜の電子状態解析

解析事例

XPS（X線光電子分光法）によるアモルファスWO3薄膜の電子状態の解析事例です。

装置、分析法の概要

XPSを用いると、数nm程度の最表面の元素の化学結合状態の分析が可能です。Arイオンスパッタと組み合わせて､深さ方向分析が可能です｡

データの説明

アモルファスWO3薄膜にLiを電気化学的に注入すると、6価のWの一部が5価に変化し、発色します。この電子状態変化がXPSスペクトルに現れています｡