【事例集】 MEMS応力解析装置
MEMSの応力、応力集中係数、疲労等の応力解析装置

測定技術の特徴

• 赤外線カメラによるMEMSの非接触応力解析装置
• 応力分布および応力集中部の検出による破壊原因の解明
• 応力集中部に発生する疲労破壊の予測と強度設計データの構築
• 各種振動モード塔載

解析装置仕様

• 視野：3.20mm × 2.56 mm（空間分解能：10μm/pixel）
• 最高フレームレート：380Hz（フルフレーム320×256 pixels ）・20kHz（64×60 pixels)
• 1MPaオーダーの応力測定（ロックイン解析時）