MEMS応力解析
MEMSの応力、応力集中係数、疲労等の応力解析

測定技術の特徴

受託計測
  • 赤外線カメラによるMEMSの非接触応力解析
  • 応力分布および応力集中部の検出による破壊原因の解明
  • 応力集中部に発生する疲労破壊の予測と強度設計データの構築
  • 各種振動モード塔載

解析装置仕様

  • 視野:3.20mm × 2.56 mm(空間分解能:10μm/pixel)
  • 最高フレームレート:380Hz(フルフレーム320×256 pixels )・20kHz(64×60 pixels)
  • 1MPaオーダーの応力測定(ロックイン解析時)
温度画像、応力画像

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部