板厚形状計測サービス

レーザ変位計走査による板厚・形状分布測定

受託計測

レーザ変位計とXYステージで板表裏面の変位を同時に測定することで、板表裏面の3D形状と板厚分布を求めることが出来ます。

腐食・磨耗・高温高圧等による変形調査では、板の反りや傾きの影響を受けない評価が可能です。

特徴

  • レーザ変位計とXYステージの組み合わせで、格子状に各点の変位データを測定できます。
  • 上下2台のレーザ変位計を用いることで、板厚分布測定ができます。
    底面基準の変位を求めることで、板の反り、傾きの影響を受けない形状計測が可能です。
  • 板厚・形状分布の画像表示とCSVファイル出力ができます。

測定仕様

1.レーザ変位計

①基準距離: 60mm
②測定範囲: ±8mm
③直線性: ±16μm
④分解能: 1μm

2.サンプル走査ステージ

①測定領域 : 幅方向40mm×長手方向100mm

3.データ入力

①サンプリングピッチ: X方向01mm、Y方向0.1mm
②入力データ: 幅400点×長手1000点

4.出力データ

①形状データ: 凹凸形状マップ、凹凸形状CSVデータ

[注意]

測定精度は、レーザ変位計の精度のみならずサンプル走査ステージの真直度・サンプル戴置時のサンプルテーブルのたわみにも依存します。

また、サンプル表面の鏡面性が高い場合など、サンプルの表面性状・表面形状によっては、測定できない場合があります。事前にご相談ください。

板厚形状計測の事例

測定結果(凹凸)の明暗表示例
鳥瞰図表示
Aに測定結果(凹凸)の明暗表示例を、その鳥瞰図表示をBに示します。
SUS板(0.1t)表面形状分布 SUS板(0.1t)表面形状分布
SUS板(0.1t)板厚分布 SUS板(0.1t)板厚分布
[ 測定結果:表面鳥瞰図表示 ] [ 測定結果:表面鳥瞰図表示 ]
[ 測定結果:マップ表示 ] [ 測定結果:マップ表示 ]
(上)形状擬似カラー表示 (下)形状濃淡輝度表示
[ 測定結果:断面形状表示 ] [ 測定結果:断面形状表示 ]

作業の流れ

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部