材料表面形状

表面の凹凸から三次元形状まで試料表面の形状計測ニーズに対応

小型三次元形状計測装置(接触式）

領域

300×200×60mm

ピッチ

Ｘ/Ｙ軸方向 0.05～5.00mm

分解能

Ｚ軸方向 0.025mm

表面凹凸測定結果

測定状況