ナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

3次元計測走査電子顕微鏡（3D-SEM）では、10nm程度の高さ分解能で、表面の凹凸を定量的に評価します。図では、すずめっき鋼板表面の粗さ測定結果を示します。EDXマッピングと組み合わせると、反射電子像（BSE像）の白い島状部分にSnが多く、Feの多い部分より1.5ミクロン程度高いことがわかります。

その他のナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

• デュアルビーム走査電子顕微鏡
• 電界放出型電子線マイクロアナリシス（FE-EPMA）
• 電子エネルギー損失分光法（EELS）