ナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

図　デュアルビームSEM装置

デュアルビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）では、FIB加工しながら、SEM観察できます。

その他のナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

• 3次元計測走査顕微鏡
• 電界放出型電子線マイクロアナリシス（FE-EPMA）
• 電子エネルギー損失分光法（EELS）