ナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

図　FE-EPMA装置

FE-EPMAは、100nm程度の微小領域における元素分析が可能です。また、EDXではピークが重なり分析が難しい元素（FeとF、CrとO、SiとTaとW、MoとSなど）も分離して分析できます。薄膜の膜厚分布の定量的評価もできます。

表　FE-EPMAの主な仕様

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