ナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

電界放出型電子線マイクロアナリシス（FE-EPMA）

図　FE-EPMA装置
図　FE-EPMA装置

FE-EPMAは、100nm程度の微小領域における元素分析が可能です。また、EDXではピークが重なり分析が難しい元素（FeとF、CrとO、SiとTaとW、MoとSなど）も分離して分析できます。薄膜の膜厚分布の定量的評価もできます。

表　FE-EPMAの主な仕様

電子銃 電界放出型シュットキータイプ
ZrO/Wチップ
加速電圧 1 - 30 kⅤ
最大照射電流 5×10-7A
電流安定度 ±0.3％/h
最小面分析エリア 5μm角
形態観察時　 8nm
最小ビーム径
分析時 0.1μm
最小ビーム径


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