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原子を可視化する超高分解能TEM
原子レベルの構造解析を可能にします！！
LSIや発光素子などの電子部品や電池など、ナノレベルの微細構造設計が要求されている分野で、従来TEM（透過電子顕微鏡）に比べ1桁小さい、0.1nmの極微小部分を観察できる超高分解能ＴＥＭが威力を発揮します。
従来できなかった原子・分子レベルの観察・分析を可能にする超高分解能TEMにより、皆様の材料開発に、トラブルシューティングに新しい視点を提供いたします。
図1 材料に合わせた電子顕微鏡の選択
超高分解能ＴＥＭの特徴
装置：FEI社製Titan80-300
原子レベルの観察・ナノレベルの分析が可能。
- 最小観察サイズ：0.07nm （従来技術：1nm）電子レンズの収差を軽減する収差補正機能付き
- 観察モード：STEM－HAADF像（走査透過電子顕微鏡-高角度暗視野像）、 BF像（明視野像：従来のTEM像）
- 分析機能：EDX分析、EELS分析
- 加速電圧：80-300kV
適応可能な分野
電子材料：
- 超格子薄膜・多層薄膜の積層構造解析。
- LSI, LEDなど電子部品の微細構造の解析。
- 磁気ヘッドの観察。量子ドット・量子細線の観察。
金属・セラミック材料：
- 表面改質層・酸化層の観察。
- 微細析出物、粒界偏析の解析。
電池材料：
- Li2次イオン電池の正極材料・負極材料の観察。
- 燃料電池用触媒の観察。
表面処理：
- 表面処理皮膜・界面構造、接合層の解析。
超微粒子：
- 形状観察、触媒微粒子の観察。
炭素材料（ＣＮＴ，ナノカーボン、ＤＬＣ）の観察。
超高分解能ＴＥＭの分析事例
その他のナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術
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