ナノ構造観察･分析･物性評価実施例

燃料電池用Pt触媒分布のULV-SEM観察

ULV-SEM（極低加速電圧SEM）では、ナノ粒子の表面形状が観察できます。複数の粒子が複合化している粒子では、それぞれを見わけることができます。
　SEM像により、100nm程度のカーボン担体粒子の形状が観察でき、BSE像（反射電子像）により、担体表面に付着している10nm程度のPt触媒の分布（Ptは白く光っている）がわかります。

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