ナノ構造観察･分析･物性評価実施例

ULV-SEM（極低加速電圧SEM）では、ナノ粒子の表面形状が観察できます。複数の粒子が複合化している粒子では、それぞれを見わけることができます。
　SEM像により、100nm程度のカーボン担体粒子の形状が観察でき、BSE像（反射電子像）により、担体表面に付着している10nm程度のPt触媒の分布（Ptは白く光っている）がわかります。

その他のナノ構造観察･分析･物性評価実施例

• Pt触媒の微細TEM観察
• 複合酸化物釉薬粒子のULV-SEM-EDX分析
• LEDのTEM観察
• Cr(35nm/W(12nm))多層薄膜の分析
• カーボンナノチューブのSEM観察
• カーボンナノチューブのSEM観察2
• Pt微粒子の化学状態解析
• カーボンナノチューブの状態分析