ナノ構造観察･分析･物性評価実施例

ULV-SEM（極低加速電圧SEM）のEDXを用いると、ナノ粒子の表面形状の観察に加え、ナノ粒子の組成分布が測定できます。
　SEM像により、1μmの大きさの釉薬球状の粒子上に数10nm程度の別の粒子が付着している様子がわかります。EDXマッピングにより、1μmの粒子はSiO₂系のものであり、数50nm程度の粒子はTiO₂系のものであることがわかります。

その他のナノ構造観察･分析･物性評価実施例

• 燃料電池用Pt触媒分布のULV-SEM観察
• Pt触媒の微細TEM観察
• LEDのTEM観察
• Cr(35nm/W(12nm))多層薄膜の分析
• カーボンナノチューブのSEM観察
• カーボンナノチューブのSEM観察2
• Pt微粒子の化学状態解析
• カーボンナノチューブの状態分析