ナノ構造観察･分析･物性評価実施例

10nmレベルの微細構造をULV-SEMで観察でき、世界最高水準の分析技術で従来レベルをはるかに超える25nmのEDX分析が可能になりました。
　ULV-SEMの反射電子（BSE）像により、酸化Ta薄膜上のCr（35nm）/W(12nm)の金属多層膜の形態が観察できるともに、従来の条件（加速電圧：10kV）では分離できなかった12nmのW層を、2.7kVと低加速電圧にすることで分析できます。

その他のナノ構造観察･分析･物性評価実施例

• 燃料電池用Pt触媒分布のULV-SEM観察
• Pt触媒の微細TEM観察
• 複合酸化物釉薬粒子のULV-SEM-EDX分析
• LEDのTEM観察
• カーボンナノチューブのSEM観察
• カーボンナノチューブのSEM観察2
• Pt微粒子の化学状態解析
• カーボンナノチューブの状態分析