物理分析

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Cs補正STEM(収差補正型走査透過電子顕微鏡)の分析事例

分析事例1:GaAs/AlGaAs超格子の原子配列観察

Cs補正STEMにより原子・分子を制御する最先端の機能性材料の観察が可能です。 Cs補正STEMと従来のFE-TEMでSi(110)を観察した例です。Cs補正STEMを用いることで、Si(110)における0.136nmの最近接構造(dumbbell)が明確に識別できました。

分析事例2:GaAs/AlGaAs超格子の分析

Cs補正STEMとEDXやEELS分析とを組み合わせることにより、10nm以下の複雑な構造を有する材料でも、デバイス構造が設計どおりか、どこに不具合が⽣じているのかを解析できます。ここではGaAs/AlGaAs超格⼦において、30nmのGaAs層とAlGaAs層とを明瞭に分離できています。

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