表面抵抗率、体積抵抗率の正確な定義はここでは、避けますが当社で各々を測定している具体的な方法についてご説明します。
要するに体積抵抗は、サンプル全体の抵抗、表面抵抗はサンプルの極表面部分の抵抗と考えています。
全体に一定電流Iを定電流器で流し、途中の部分で電圧測定をし電流で割って抵抗を計算する。
これから、電極間距離1cm当りの抵抗に換算して算出する。
VR= V/I ・ t・w/d
VR:体積抵抗率(Ω・cm), I:流した電流値(mA), V:電圧(mV), t:試験片厚み(cm)
w:試験片幅(cm), d:電極間距離(cm)

図Q4-1:体積抵抗率の測定方法