テラヘルツ波非破壊検査装置

テラヘルツ波とは

販売 テラヘルツ波非破壊検査装置 テラヘルツ波非破壊検査装置

テラヘルツ波とは、赤外線と電波の中間の波長帯域に位置する電磁波であり、プラスチック、紙などに対する高い透過性、各種物質の化学構造の差異に対する鋭敏性、人体に対する安全性などを有しています。

当社ではこれらの特徴を活かして可搬式のテラヘルツ波非破壊検査装置を実現し、お客様のご要望にお応えしていきます。

テラヘルツ波非破壊検査装置の特徴

  • 可搬型・小型のシステム
  • 対象物の内部を非破壊・非接触で検査
  • 反射、透過波の高速測定が可能
  • 線品検査などのニーズに対応可能
  • テラヘルツ波の振幅と位相情報による画像化が可能
  • 時間波形をフーリエ変換することで分光スペクトルが出力可能
パルスエコー法

内部で反射されるパルスが時間的に遅れて戻ってくることを利用(パルスエコー法)

適用例

  • 工業材料の評価
  • 食品中の異物検出
  • 医薬品の品質調査
  • 塗装下地の錆の検査
  • 美術品・文化財の調査

応用例

異物観察

THzトモグラフィーによるアクリル板中の針金の検出

ワイヤ埋め込みアクリル板の反射波画像

塗装面下の腐食検出

テラヘルツ波が塗装膜を透過することを利用し、塗装面下の腐食の検出

塗装前鋼板の可視画像 (a)塗装前鋼板の可視画像
塗装後鋼板の可視画像 (b)塗装後鋼板の可視画像
THzイメージング画像 (c)THzイメージング画像

プロセスモニタリング

各産業分野で使われる燃焼、成膜、反応等のプロセス状態の観測やプロセス改善、製品品質向上に活用

装置仕様

レーザー フェムト秒レーザー
(波長:1560nm)
繰返し 100MHz
測定周波数小域 0.1~2THz
周波数分解能 0.1THz以下
波形取込レート 最大10Hz
(典型値:5Hz)
光学遅延距離 60mm以下
ファイバー長 1~3m
光源・検出 InGaAs
光伝導デバイス
装置電源 AC 100V(50/60Hz)
75W以下
外形寸法 約630(D)mm×500(W)mm×300(H)mm
重量 約 22kg

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部

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