高純度金属、電子材料などの極微量分析

電気加熱原子吸光法による極微量分析の概要

各種材料中の不純物や混入物のppmからppb、pptまでの極微量定量分析ニーズにお答えします。
当社では電気加熱原子吸光装置をクリーンルーム内に設置して極微量分析に対応しています。

電気加熱原子吸光法の特長

電気加熱原子吸光装置

  • 高濃度試料は極少量の試料で、極低濃度試料は濃縮法によりppbレベル(元素によりppt)の分析が可能です。
  • 懸濁液、乳濁液のような完全な溶液でない液体試料も分析が可能です。
  • 生体試料、その他の有機物質の試料溶液も高感度分析が可能です。

分析事例

窒化アルミニウム中のFe、Crの分析

試料を硫酸で加圧分解し、その分解液を直接電気加熱原子吸光装置に注入し分析した。

単位:μg/g
試料 A B C
Fe 8.0 1.0 -
Cr 0.6 0.6 4.3

オイル中の微量Asの分析

ボンベ内でオイルを燃焼させ、硝酸マグネシウム溶液に吸収させた液を分析した。

単位:μg/g
試料 A B C D
As < 0.5 < 0.5 < 0.5 29

石英、ガラス中の不純物分析

試料を粉砕し、ふっ化水素酸及び硝酸で加圧酸蒸気分解後、分析した。

単位:μg/g
試料 A B C
Fe 0.15 0.12 0.20
Cr < 0.05 < 0.05 < 0.05
Ni < 0.05 < 0.05 < 0.05
Cu < 0.01 < 0.01 < 0.01

作業の流れ

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部