ナノ構造観察･分析･物性評価用主要技術

電子エネルギー損失分光法（EELS）

EELSでは、空準位の伝導帯の状態密度を反映したスペクトルが得られるので、化学結合状態の分析が可能です。例えば、炭素に関しては、sp2結合（グラファイト的）とsp3結合（ダイアモンド的）とで、ピーク形状が異なるので、状態の違いを調べることができます。なお、電子の充満している準位を測定しているXPSとは、相補的な分析法と言えます。

図　DLC皮膜のTEM-EELS測定例。 EELSスペクトル
図　DLC皮膜のTEM-EELS測定例。 EELSスペクトル

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