3D表面観察装置

3D表面観察装置

  • フォーカス合成(全焦点画像合成)
  • 3次元立体観察
  • 幅、高さ、粗さ、断面積、角度計測


3D表面観察装置

(例) ファスナーの表面観察と高さ計測

表面観察

高さ計測

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