検査・計測

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膜厚分布測定装置 FiDiCa®(フィディカ)

膜厚分布を高速・高精度に測定・可視化

    • 半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を高速・高精度にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計
    • 50nm~100umまで、幅広い膜厚レンジの測定に対応
    • 分光干渉法を用いた高い測定精度
    • 独自アルゴリズムを用い、400万点の測定データを数分で高速演算
    • オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能
  • 動画配信中!
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    ※音声はミュート設定になっております。

光干渉を利用した膜厚測定とは?

屈折率n1の膜に対して色々な波長λが含まれる白色光を入射角θ0で入射すると、表面反射光と、屈折角θ1で屈折したあと膜の裏面で反射した裏面反射光との間に光路差2n1dcosθ1(位相差2n1dcosθ1/λ)が生じるため(別紙1)、波長λによって強め合ったり、弱め合ったりする干渉現象が起こります。 この干渉現象は膜厚によって変化するため(別紙2)、分光スペクトルデータを解析することにより膜厚を算出することが可能になります。当社では、ハイパースペクトルカメラを用いて分光スペクトルデータを取得することによって、高速な膜厚計測を可能にしています。

  • (別紙1)分光干渉法による膜厚測定とは
    (別紙1)分光干渉法による膜厚測定とは
  • (別紙2)膜厚と分光スペクトル
    (別紙2)膜厚と分光スペクトル

FiDiCa®の特徴 ~膜厚を高速・高精細に測定・可視化~

  • 半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を高速・高精細にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計
  • 100nm~150umまで、幅広い膜厚レンジの測定に対応
  • イメージング分光器を用いた高精細な測定
  • 独自アルゴリズムを用い、400万点の測定データを数分で高速演算
  • オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能

従来法と膜厚分布測定装置FiDiCa®の比較

<従来法>エリプソメトリ/分光干渉膜厚計   膜厚分布測定装置FiDiCa®
エリプソメトリ/分光干渉膜厚計   膜厚分布測定装置FiDiCa®
1万点 測定点数 400万点
数時間 測定時間 数分
X-Y2軸スキャン スキャン 1軸

膜厚分布測定装置FiDiCa®シリーズ製品ラインナップ

Sシリーズ 標準モデル

  • 特長

    • 400万点を2分以内で高速測定・膜厚計算
    • 豊富なラインナップで多様なアプリケーションに適用可能
    • 研究開発から欠陥検査まで適用可能
    型式 FDC-S□□□□
    計測膜厚範囲※1 50nm~20μm(薄膜用)
    1μm~100μm(厚膜用)
    測定サイズ 4インチ~12インチウェーハ
    A4サイズ
    測定点数 約400万点
    空間分解能※2 約50μm~150μm
    測定速度※1 2分以内
    繰り返し再現性※3 3σ<1.0nm
    装置サイズ
    (8インチウェ-ハの場合)
    約W810×D850×H2,100mm
    • 材質、条件によります。
    • サンプルサイズによります。
    • 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

Hシリーズ 高分解能モデル

  • 特長

    • 6インチウェーハの全面測定可能
    • サンプル全面測定と局所的な高分解能(約5μm)測定可能
    • 卓上に設置出来るコンパクト設計
    型式 FDC-H1510
    計測膜厚範囲※1 100nm~10μm
    測定サイズ 局所測定:約3mm角
    全面測定:約150mm
    (6インチウェーハ)
    測定点数 約20万点
    空間分解能 約5μm
    測定速度※1 局所測定:約30秒
    全面測定:約10分
    繰り返し再現性※2 3σ<1.0nm
    装置サイズ W500×D620×H280mm
    • 材質、条件によります。
    • 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

Wシリーズ ウェブ検査用モデル

  • 特長

    • カメラ、照明を一体のユニット化したモデル
    • 現地調整不要で設置・交換が容易
    • 複数台設置により幅広な対象にも対応可能
    型式 FDC-W2520 FDC-W5020
    計測膜厚範囲※1 100nm~20μm
    測定幅※2 100mm 500mm
    空間分解能 0.13mm 0.26mm
    測定速度※1 約20ライン/秒
    繰り返し再現性※3 3σ<1.0nm
    装置サイズ W320×D220×H850mm W640×D220×H850mm
    • 材質、条件によります。
    • 対象物により、更なる幅広対応も可能です。
    • 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

Dシリーズ 広レンジモデル

  • 特長

    • 薄膜~厚膜まで幅広い膜厚範囲を測定可能(FDC-D30HU)
    • サンプル全面測定と局所的な高分解能(50μm)測定(FDC-D3020)
    • CtoC搬送機付きモデルあり
    型式 FDC-D30HU
    (薄膜~厚膜測定)
    FDC-D3020
    (高・低分解能測定)
    計測膜厚範囲※1 50nm~100μm 100nm~20μm
    測定サイズ 4~12インチウェーハ(選択可)
    測定点数 約400万点
    空間分解能 約5μm~150μm
    測定速度※1 10分以内
    繰り返し再現性※2 3σ<1.0nm
    装置サイズ 仕様による
    • 材質、条件によります。
    • 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

膜厚分布測定装置FiDiCa®(フィディカ)測定事例

シリコンウエハ

ポリカーボネートコート(DVD)

OHPフィルム

ニュートンリングの空隙

パターン付きウェハの膜厚分布測定

潤滑油の膜厚分布

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部
0120-643-777

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