検査・計測
膜厚分布測定装置 FiDiCa®(フィディカ)
- Topics SEMICON Japan 2022の弊社ブースとFiDiCa®を紹介いただきました!
-
- 基板の窓口(YouTube)
- インタビュー動画(YouTube):https://www.youtube.com/watch?v=EGqUMiWA2Tw
- 基板の窓口Webサイト(SEMICON JAPAN特集記事内):https://jpcb.jp/pickup/?m=detail&pkid=290
- アペルザTV(オンデマンド):https://tv.aperza.com/watch/840
- 基板の窓口(YouTube)
膜厚分布を非接触で高速・高精度に測定・可視化
-
- 半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を非接触で高速・高精度にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計
- 50nm~800μmまで、幅広い膜厚(薄膜、厚膜、極厚膜)レンジの測定に対応
- 分光干渉法を用いた高い測定精度
- 独自アルゴリズムを用い、100万点~400万点の測定データを数分で高速演算
- オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能
- 多層膜測定にも対応
-
NEW 動画配信中!
光干渉を利用した膜厚測定とは?
屈折率n1の膜に対して色々な波長λが含まれる白色光を入射角θ0で入射すると、表面反射光と、屈折角θ1で屈折したあと膜の裏面で反射した裏面反射光との間に光路差2n1dcosθ1(位相差2n1dcosθ1/λ)が生じるため(図1)、波長λによって強め合ったり、弱め合ったりする干渉現象が起こります。 この干渉現象は膜厚によって変化するため(図2)、分光スペクトルデータを解析することにより膜厚を算出することが可能になります。当社では、ハイパースペクトルカメラを用いて分光スペクトルデータを取得することによって、高速な膜厚測定を可能にしています。(関連ワード:分光干渉膜厚計・光干渉膜厚計)
従来法と膜厚分布測定装置FiDiCa®の比較(薄膜モデルで厚み測定実施の場合)
<従来法>エリプソメトリ(エリプソメータ―)/分光干渉膜厚計 | 膜厚分布測定装置FiDiCa® | |
1万点 | 測定点数 | 400万点 |
---|---|---|
数時間 | 測定時間 | 数分 |
X-Y2軸スキャン | スキャン | 1軸 |
膜厚分布測定装置FiDiCa®シリーズ製品ラインナップ
Sシリーズ 標準モデル
-
特長
- 100万点~400万点を2分以内で高速測定・膜厚計算
- 豊富なラインナップで多様なアプリケーションに適用可能
- 研究開発から欠陥検査まで適用可能
- 主な用途
- 薄膜モデル:SiO2膜、スパッタ膜、レジスト、液膜、油膜、コーティング膜
- 厚膜モデル:各種ウェーハ、PETフィルム、その他フィルム、ガラス等
- 極厚膜モデル:各種ウェーハ、バルクウェーハ、フィルム、ガラス等
型式 FDC-S□□□□ 計測膜厚範囲※1 50nm~20μm(薄膜モデル)
1μm~100μm(厚膜モデル)
20μm~800μm(極厚膜モデル)測定サイズ 4インチ~12インチウェーハ
A4サイズ測定点数 約400万点(薄膜モデル)
約150万点(厚膜モデル)
約100万点(極厚膜モデル)空間分解能※2 約50μm~150μm(薄膜モデル)
約80μm~250μm(厚膜モデル)
約100μm~300μm(極厚膜モデル)測定速度※1 2分以内 繰り返し再現性※3 3σ<1.0nm(薄膜・厚膜モデル)
3σ<10nm(極厚膜モデル)装置サイズ
(12インチウェーハの場合)約W810×D820~880×H2,000mm - 材質、条件によります。
- サンプルサイズによります。
- 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。
Hシリーズ 高分解能モデル
-
特長
- 6インチウェーハの全面測定可能
- サンプル全面測定と局所的な厚さを高分解能(約5μm)で測定可能
- 卓上に設置出来るコンパクト設計
- 主な用途
- デバイスパターン上の膜厚分布測定 等
型式 FDC-H1510 計測膜厚範囲※1 100nm~10μm 測定サイズ 局所測定:約3mm角
全面測定:約150mm
(6インチウェーハ)測定点数 約20万点 空間分解能 約5μm 測定速度※1 局所測定:約30秒
全面測定:約10分繰り返し再現性※2 3σ<1.0nm 装置サイズ W500×D620×H280mm - 材質、条件によります。
- 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。
高分解能FiDICa [事例集PDF]
Wシリーズ ウェブ検査用モデル
-
特長
- カメラ、照明を一体のユニット化したモデル
- 現地調整不要で設置・交換が容易
- 複数台設置により幅広な対象にも対応可能
- ラインスキャンによりインライン膜厚の測定が可能
- 主な用途
- フィルム、ガラス、基材上の塗工膜等のインライン膜厚測定
型式 FDC-W2520 FDC-W5020 計測膜厚範囲※1 100nm~20μm 測定幅※2 100mm 500mm 空間分解能 0.13mm 0.26mm 測定速度※1 約20ライン/秒 繰り返し再現性※3 3σ<1.0nm 装置サイズ W320×D220×H850mm W640×D220×H850mm - 材質、条件によります。
- 対象物により、更なる幅広対応も可能です。
- 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。
Dシリーズ 広レンジモデル
-
特長
- 薄膜~厚膜まで幅広い膜厚範囲を測定可能(FDC-D30HU)
- サンプル全面測定と局所的な高分解能(50μm)測定(FDC-D3020)
- CtoC搬送機付きモデルあり
型式 FDC-D30HU
(薄膜~厚膜測定)FDC-D3020
(高・低分解能測定)計測膜厚範囲※1 50nm~100μm 100nm~20μm 測定サイズ 4~12インチウェーハ(選択可) 測定点数 約400万点 空間分解能 約5μm~150μm 測定速度※1 10分以内 繰り返し再現性※2 3σ<1.0nm 装置サイズ 仕様による - 材質、条件によります。
- 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。
膜厚分布測定装置FiDiCa®(フィディカ)測定事例
シリコンウェーハ
シリーズ Sシリーズ モデル 薄膜モデル 空間分解能 約75μm 測定点数 約400万点
ポリカーボネートコート(DVD)
シリーズ Sシリーズ モデル 厚膜モデル 空間分解能 約100μm 測定点数 約150万点
OHPフィルム
シリーズ Sシリーズ モデル 薄膜モデル 空間分解能 約100μm 測定点数 約400万点
バルクウェーハ
シリーズ Sシリーズ モデル 極厚膜モデル 空間分解能 約100μm 測定点数 約100万点
PETフィルム(100μm)
シリーズ Sシリーズ モデル 極厚膜モデル 空間分解能 約200μm 測定点数 約100万点
PETフィルム(250μm)
シリーズ Sシリーズ モデル 極厚膜モデル 空間分解能 約200μm 測定点数 約100万点
パターン付きウェハの膜厚分布測定
-
シリーズ Hシリーズ モデル 高分解能モデル 空間分解能 約5μm 測定点数 約20万点
潤滑油の膜厚分布
御導入の流れ
JFE-TEC Newsバックナンバー
- No.75(2023年5月)【2023 年 新商品特集号】基材厚も測定可能な「極厚膜FiDiCa®」
このページに関する
お問い合わせはこちらから
- JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部
- 0120-643-777