ハイパースペクトルカメラ
LIB絶縁層の膜厚測定装置
装置の特徴
- 塗工全幅の絶縁層膜厚分布を同時かつ高精度に測定できます
ハイパースペクトルカメラを用いて線状の1000点以上の分光スペクトルを同時に取り込み、スペクトルから絶縁層膜厚を計算します。
＊スペクトル解析値と膜厚の検量線（右図）を利用して膜厚を計算
ハイパースペクトルカメラは多数の点を同時に測定できるので、幅方向の膜厚分布を同時に測定できます
カスタマイズ設計
- 対象物の分光特性、装置のご用途に合わせて、装置を設計いたします。
幅方向の膜厚分布や特定の場所の時間変化などの画面表示、不良発生信号の出力、全幅膜厚計算結果の記録の保存など、装置のご用途に合わせてカスタマイズして設計いたします。
-
ソフトウェア画面構成例 -
インライン装置構成
装置の仕様例
| 分光波長範囲 | 380nm～800nm もしくは 400nm～1000nm |
スペクトル 取り込み速度 |
最大40回／秒 |
|---|---|---|---|
| 測定点数 | 幅1392点(最大) | 膜厚測定間隔 | 搬送速度による （例：1m/秒の時、25mm間隔） |
| 空間分解能 | 任意（例：1000mm幅の場合、約720μm） | 保存データ | 膜厚データ(csvデータ) |
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