事例集

ナノスケールの非破壊分析による構造解析に適しています。

特徴　 「Sigray社製Apex-Hybrid 200」

• 1） ハイブリッド測定機構

  電池セルや電子デバイスなどの微細構造評価に使い分けられます。

  • ラミノグラフィは平板試料の測定に適しており、評価試料サイズの制限を広げます。
  • コーンビーム直交CTはより忠実な画像コントラストが期待できます。

• 2） 高分解能

  • 管電圧 40-160kV
  • 最大管電力 16W
  • 空間分解能 約0.4µm
  • 最小スポットサイズ 0.6µm

測定原理

• ラミノグラフィ

  試料サイズに影響されず局所の高分解能分析が可能です。
  特徴的なアーティファクトのため、像解釈には注意が必要です。

  

• コーンビーム直交CT

  画像コントラストの良好な高分解能分析が可能です。
  試料サイズに制限があります。

  

全固体電池セルの分析例

• ラミノグラフィ

  

• 直交CT