事例集

材料表面に付着した微小異物を非接触かつサブミクロン分解能で分析し、同定します。

微小異物分析におけるFT-IR法の課題

フーリエ変換赤外分光法（FT-IR）は、物質中の原子団（基）の情報を得る手法です。材料表面に付着した異物をFT-IRで分析する際、顕微鏡で拡大可能な大きさの場合には異物をメス等で採取して透過法で分析されます。ところが、これが困難な微小サイズの異物は分析できない場合がありました。

光熱誘起赤外分光法(Optical Photothermal Infrared Spectroscopy(O-PTIR))の測定原理

当社では非接触サブミクロン赤外分光法で解析できる光熱誘起赤外分光装置[Optical Photothermal Infrared Spectroscopy(O-PTIR)]を保有しています。この装置を使用することにより、材料表面に付着した微小異物を非接触かつサブミクロン分解能で解析できます。測定原理を図1に示します。

試験仕様と特徴

特徴：①空間分解能0.5μm、②非接触式測定

• 周波数		100kHz
  測定点間距離		ライン分析時：0.5μm（最小）
  		イメージング時：0.05μm（最小）
  分析可能 試料サイズ	水平方向	最大200mm×200mm
  	垂直方向	最大20mm
  測定可能領域	水平方向	最大100μm×100μm
  空間分解能		0.5μm（最高）
  測定可能波数		910～1900cm-1
  波数分解能		2cm-1

• 

分析結果例

• ある金属材料の表面に図2に示す微小異物が付着しており、この微小異物の種類を同定する必要が生じました。FT-IRでの分析を試みましたが、メスによる採取が困難でした。

  次に、表面にクリスタルを接触させATR法による分析を試みましたが、表面が若干曲面であったため、ATRの接触が困難でした。

  そのためFT-IRに変えて非接触サブミクロン赤外分光法による分析を試みました。分析結果を図2に示します。

  この結果から微小異物はポリカーボネート系の物質であることが確認できました。

•