JFEテクノリサーチ、Sigray社製の次世代3次元X線顕微鏡を国内初導入

大面積、高精度、非破壊観察が可能な「ApexHybrid-210™」で先端材料開発を加速

JFEテクノリサーチは、半導体や電池材料など先端材料分野における高度な非破壊内部構造解析のニーズに応えるため、米国Sigray（シグレイ）社製の次世代3次元X線顕微鏡「ApexHybrid−200シリーズ、機種名：ApexHybrid-210™（以下、本装置）」を国内で初めて導入し、受託分析サービスの提供を開始しました。

本装置は最大20 mm厚までの板状サンプルに対応し、その内部構造を1 µm以下の高分解能で非破壊・短時間観察できる革新的なハイブリッド型3次元X線顕微鏡です。直交CTと斜めCT（ラミノグラフィ）という2種類のモードを組み合わせることで、従来のX線CT技術では難しかった大面積サンプルの微細構造をサブミクロンレベルの分解能で迅速に可視化します。この技術により、半導体パッケージやウエハー、グラフィックスボードなどの電子材料、さらには全固体電池などのラミネート構造を持つ先端材料の研究開発や品質保証、故障解析を強力に支援するソリューションを提供してまいります。

本装置の測定原理

革新的な非破壊解析技術

本装置は、直交CTと斜めCT（ラミノグラフィ）の2種類のイメージングモード観察を1台で実現しました。ラミノグラフィにはSigray社が独自開発した精密角度ラミノグラフィを搭載しており、大面積サンプルの観察でも従来のラミノグラフィよりも高コントラストおよび高解像度の画像を提供します。

主な特長は以下のとおりです。

1. 最大直径300 mm×厚さ20 mmの大面積サンプルを切断加工不要で高コントラスト・高解像度の非破壊観察が可能（精密角度ラミノグラフィ）
2. 高輝度X線源と大型検出器、独自光学系の組み合わせにより業界最高水準の空間分解能0.40 µmを実現し、試料の微細構造や微小欠陥も鮮明に可視化（直交CT）
3. 従来CT比で10～100倍の観察スピードにより、研究開発・品質保証プロセスを大幅に効率化

当技術の活用が期待される分野

積層構造を有する全固体電池セル、グラフィックスボードや半導体パッケージなど、比較的大面積で複雑な構造を有する先端材料において、短時間かつ高精度な観察を非破壊で実現しております。さらに以下の分野の研究開発、品質保証、故障解析でニーズが存在すると期待しています。

1. ウエハーなど半導体材料・関連部材の非破壊検査
2. 各種電池セル・部材の解析（全固体電池、リチウムイオン電池、燃料電池など）
3. 金属・複合材料・バイオマテリアルの微細構造解析

同等設備の受託分析サービスの事例は下記当社ホームページをご覧ください：
https://www.jfe-tec.co.jp/download/pdf/3D1J-001-00.pdf

本装置の詳細は、装置販売元であるキャノンマーケティングジャパン株式会社の公式製品ページをご参照ください：
https://canon.jp/biz/product/indtech/sigray/lineup/apexhybrid-200